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多晶硅生产中的氯硅烷气体怎么处理?多晶硅生产过程中产生的一部分氯硅烷不凝气与石灰乳产生的化学反应方程式是什么?

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多晶硅生产中的氯硅烷气体怎么处理?
多晶硅生产过程中产生的一部分氯硅烷不凝气与石灰乳产生的化学反应方程式是什么?
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生成氯化钙和硅酸
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