在微电子工业中NF3常用作氮化硅的蚀刻剂,工业上通过电解含NH4F等的无水熔融物生产NF3,其电解原理如图.下列说法不正确的是()A.a电极为电解池的阳极B.阳极的电极反应式:NH4++3F
在微电子工业中NF3常用作氮化硅的蚀刻剂,工业上通过电解含NH4F等的无水熔融物生产NF3,其电解原理如图.下列说法不正确的是( )
A. a电极为电解池的阳极
B. 阳极的电极反应式:NH4++3F--6e-=NF3+4H+
C. 电解过程中还会生成少量氧化性极强的气体单质,该气体的 分子式是F2
D. H+由b极移向a极,并参与电极反应
B.a为阳极铵根失电子发生氧化反应生成NF3,反应式为:NH4++3F--6e-=NF3+4H+,故B正确;
C.依据电解原理可知,氟离子也可能失去电子生成氟单质,所以电解过程中还会生成少量氧化性极强的气体单质,该气体的分子式是F2,故C正确;
D.电解过程中,H+向阴极移动,所以H+由a极移向b极,故D错误;
故选D.
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