1．能否用四探针法测量n／n+外延片及p／p+外延片外延层的电阻率?2．能否用四探针法测量n／p外延片外延层的电阻率?3．为什么测量单晶样品电阻率时测试平面要求为毛面,而测试扩散片扩散

Question

1．能否用四探针法测量n／n+外延片及p／p+外延片外延层的电阻率?
2．能否用四探针法测量n／p外延片外延层的电阻率?
3．为什么测量单晶样品电阻率时测试平面要求为毛面,而测试扩散片扩散层薄层电阻时测试面可为镜面?

Answer 1

1．能否用四探针法测量n／n+外延片及p／p+外延片外延层的电阻率?
答：不能用四探针法测量同型外延片.
2．能否用四探针法测量n／p外延片外延层的电阻率?
答：能用四探针法测量异型外延片.
3．为什么测量单晶样品电阻率时测试平面要求为毛面,而测试扩散片扩散层薄层电阻时测试面可为镜面?
答：毛面较能保证金属探针与样品接触良好,所以测量单晶样品电阻率时测试平面要求为毛面."...测试扩散片扩散层薄层电阻时测试面可为镜面..."其实当扩散片的测试面也为毛面时,对测量更好,但做扩散前已经将表面抛光成了镜面,并且扩散之后的扩散层的厚度较小,故不适合再研磨或吹沙,所以只能测镜面.为了能使测量更准,就对探针的压力和针尖有不同“毛面”的要求.
（供参考）