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deep-submicron是什么意思微电子方面
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deep-submicron是什么意思
微电子方面
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深亚微米,通常把0.8—0.35μm称为亚微米,0.25μm及其以下称为深亚微米,深亚微米制造的关键技术主要包括紫外光刻技术、等离子体刻蚀技术、离子注入技术、同互连技术等.
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