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磁控溅射氩气对电流影响氩气量是如何影响电流的,请从微观方面介绍一下!
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磁控溅射氩气对电流影响
氩气量是如何影响电流的,请从微观方面介绍一下!
氩气量是如何影响电流的,请从微观方面介绍一下!
▼优质解答
答案和解析
粗略的理
氩气量越多,真空度越低,真空室内的等离子体密度就越大,当然电子也就越多,所以电流也就越大.
氩气量越多,真空度越低,真空室内的等离子体密度就越大,当然电子也就越多,所以电流也就越大.
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