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BTU烧结炉9区温度在空运行时温度时稳定的,但一有硅片时温度就会掉20度左右.哪位高手帮忙解答下?
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BTU烧结炉9区温度在空运行时温度时稳定的,但一有硅片时温度就会掉20度左右.哪位高手帮忙解答下?
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不懂这方面的内容,帮不上忙,不好意思.
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