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金属有机化学气相沉积系统(MOCVD)与LED的关系?

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金属有机化学气相沉积系统(MOCVD)与LED的关系?
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答案和解析
金属有机化学气相沉积(MOCVD)是一种合成方法,尤其适合于膜合成.
而发光二极管(LED)是一种半导体器件,本无关联;只是LED中广泛用到膜技术制造.
成膜技术很多,除了MOCVD外,还有低压CVD(LPCVD),等离子体增强CVD (PECVD),液相外延(LPE),溶胶凝胶(sol-gel),化学浴沉积(CBD)等等,种类繁多,可见LED器件并不是必须使用MOCVD法.
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