3D光学显微镜和台阶仪有哪些区别,哪个更好些?

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两者的原理应该是相同的.但是采用的探针不一样：台阶仪用的探针一般是微米级的,所以分辨率不高,但是能测粗糙的表面；而AFM的探针是纳米级的,因此获得的表面形貌分辨率更高.
台阶仪和AFM我都用过,台阶仪在高度方向上的精度可达nm甚至埃级,但是在x,y方向的精度较低,大概在微米级到亚微米级,其相对于AFM的最大优势在于,它的扫描范围可以很大,我曾经扫描过一个4寸的硅片；
AFM的精度比台阶仪要高,但是最大的劣势在于扫描范围太小,我用的AFM最大扫面范围为90um*90um

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