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FIB和SEM的优劣分析从成像原理,成像效果,成本,通用性等多方面解答一下.

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FIB和SEM的优劣分析
从成像原理,成像效果,成本,通用性等多方面解答一下.
▼优质解答
答案和解析
FIB带有SEM功能;FIB另外的功能就是微加工.
SEM是电子束成像原理.
FIB中带有电子束成像,也可以离子束成像(一般不用,对样品表面形貌损伤太大).
如果您只观察形貌的话,用SEM即可,FIB的电子束成像方面和SEM都一模一样.