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怎么有二氧化硅制备晶圆
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怎么有二氧化硅制备晶圆
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晶圆通常指硅晶圆,且为片状,圆形或方型.
二氧化硅+碳--〉工业硅；
工业硅+HCl--〉三氯氢硅；
三氯氢硅氢还原---多晶硅；
多晶硅铸锭--〉多晶硅锭---多晶硅锭切割--〉晶片.
多晶硅拉单晶--〉单晶硅棒；切割---晶片.
二氧化硅+碳--〉工业硅；
工业硅+HCl--〉三氯氢硅；
三氯氢硅氢还原---多晶硅；
多晶硅铸锭--〉多晶硅锭---多晶硅锭切割--〉晶片.
多晶硅拉单晶--〉单晶硅棒；切割---晶片.
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