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热丝CVD制备金刚石薄膜前热丝为什么要碳化
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热丝CVD制备金刚石薄膜前热丝为什么要碳化
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答案和解析
1,碳化后可以减少高温下钨丝升华出的钨对薄膜污染
2,碳化后的钨丝不易变形,便于产生稳定的温度场.
2,碳化后的钨丝不易变形,便于产生稳定的温度场.
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