太阳能光伏电池制造多晶制绒腐蚀刻蚀其腐蚀重量和腐蚀深度的转换公式光伏电池片制造,1、多晶酸制绒腐蚀重量（单位g）和表面腐蚀深度（单位um）之间的关系系数是多少?2、单晶碱制

Question

太阳能 光伏电池制造 多晶制绒腐蚀 刻蚀 其腐蚀重量和腐蚀深度的转换公式
光伏电池片制造 ,
1、多晶酸制绒腐蚀重量（单位g）和表面腐蚀深度（单位um）之间的关系系数是多少?
2、单晶碱制绒腐蚀重量和腐蚀深度的关系系数多少?
3、多晶湿法刻蚀腐蚀重量和腐蚀深度的关系系数多少?
4、单晶湿法刻蚀腐蚀重量和腐蚀深度的系数多少?
是单面系数还是双面系数?

Answer 1

制绒：多晶156:8.82,单晶156:8.98
湿法刻蚀：多晶156:17.64,单晶156:17.96.
上述系数都是针对每一面而言,例如：若单晶制绒算出来深度为3um,则上下表面各3um.如果制绒前平均厚度为180um,则制绒后平均厚度为174um.
由于湿法刻蚀是单面腐蚀,所以其系数是制绒的两倍.
关于系数的推演,首先要明确,在深度的计算中,忽略对wafer四个侧面的腐蚀.
以多晶156为例,上下表面单面面积为：15.6cmX15.6cm=243.36cm2（忽略多晶156那微不足道的小角）.
硅的密度为2.33g/cm3
2.33g/cm3 * 243.36cm2 =567.0288g/cm
1/(567.0288g/cm)=0.001764cm/g=0.001764 * 10*1000um/g=17.64 um/g