磁控溅射的问题,靶电流加不上去有5个靶其中3个靶加不高电流,同样的进气量下剩余的两个靶可以加的很高真空度在0.5左右.这3个靶在到一定电流以后靶会出现一闪一闪的现象.电源有蜂鸣声,

题目详情

磁控溅射的问题,靶电流加不上去
有5个靶其中3个靶加不高电流,同样的进气量下剩余的两个靶可以加的很高
真空度在0.5左右.
这3个靶在到一定电流以后靶会出现一闪一闪的现象.
电源有蜂鸣声,电流显示和电压显示很混乱,在调回来就好了
或者加大进气量也可以,靶的冷却水温度也没问题.
中毒问题也不大 ,在低电流下练了很长时间的靶了10A（500V-700V）的电流练的靶.把电流在加高就会出现这种现象,剩余的两个靶在同样的真空度和电流下是没有问题的!电源的问题也测试过了,我把有问题的靶线跟没问题的靶给调了下,结果还是一样.

▼优质解答

答案和解析

靶材一闪一闪应该是打火现象.
电流加不上去,有很多情况.建议你提高气压,适当降低衬底温度和负偏压试试,应该能得到改善.如果电源、靶材等都没问题,有可能是磁场退化了或高温下磁场减弱了.
你们的电流10A很高啦!一般都是几毫安每平方厘米.

看了磁控溅射的问题,靶电流加不上去...的网友还看了以下：

高中物理弹簧有一道很经典的题四个完全相同的弹簧都处于水平位置,它们的右端受到大小皆为F的拉力作用, 　2020-06-08 …

如图所示，在水平地面上静置一个三角劈M，过其顶点固定一竖直杆，M的右侧斜面光滑，左侧斜面粗糙，右侧　2020-06-28 …

一个定滑轮上有一根绳子,绳子左右各栓了一个小球,左边的小球a质量为m,右边小球b质量3m.右边小球　2020-06-29 …

定滑轮的问题一根固定长的绳子通过2个定滑轮（N字型）来完成运动,在绳子的左端挂有一定重量G的负重, 　2020-07-31 …

初二物理左手定则是测什么的发电机用手测的那个.左右手定则.还有他们测试什么的时候用的! 　2020-08-03 …

初中的一道几何证明题等腰梯形,左上角A点,右上角B点,左下角C点,左下角D点,底边CD点上有一点E, 　2020-10-31 …

在2堵墙的两边分别挂上两个弹簧测力计,比如这样丨----丨竖线是墙,--是弹簧测力计,中间挂一个滑轮　2020-11-10 …

一个支架,上面挂着一个弹簧测力计,弹簧测力计上挂着一个定滑轮,定滑轮左边悬空挂着一个物体,右边挂的物　2020-11-21 …

函数在一点的导数不存在,它在这点的左右导数不存在.还有定义“如果函数在一点的左右导数存在到不相等,它　2020-11-25 …

函数在定义域上的不可导点的确定问题如题我只知道根据定义去确定就是函数在某点左可导=右可导此点为函数的　2021-01-31 …