磁控溅射的问题,靶电流加不上去有5个靶其中3个靶加不高电流,同样的进气量下剩余的两个靶可以加的很高真空度在0.5左右.这3个靶在到一定电流以后靶会出现一闪一闪的现象.电源有蜂鸣声,

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磁控溅射的问题,靶电流加不上去
有5个靶其中3个靶加不高电流,同样的进气量下剩余的两个靶可以加的很高
真空度在0.5左右.
这3个靶在到一定电流以后靶会出现一闪一闪的现象.
电源有蜂鸣声,电流显示和电压显示很混乱,在调回来就好了
或者加大进气量也可以,靶的冷却水温度也没问题.
中毒问题也不大 ,在低电流下练了很长时间的靶了10A（500V-700V）的电流练的靶.把电流在加高就会出现这种现象,剩余的两个靶在同样的真空度和电流下是没有问题的!电源的问题也测试过了,我把有问题的靶线跟没问题的靶给调了下,结果还是一样.

▼优质解答

答案和解析

靶材一闪一闪应该是打火现象.
电流加不上去,有很多情况.建议你提高气压,适当降低衬底温度和负偏压试试,应该能得到改善.如果电源、靶材等都没问题,有可能是磁场退化了或高温下磁场减弱了.
你们的电流10A很高啦!一般都是几毫安每平方厘米.

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