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请介绍一下扩散硅原理(在压力传感器中)1.什么是扩散硅的原理。2.讲一下他在压力传感器中的应用。谢谢
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请介绍一下扩散硅原理(在压力传感器中)1.什么是扩散硅的原理。 2.讲一下他在压力传感器中的应用。 谢谢
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答案和解析
能够用到硅材料的压力传感器应该是压阻式传感器,属于微型化的传感器。 压阻效应任何一本传感器书中都会有介绍,我就不多说了。 既然是压阻效应,就要在硅片上扩散电阻,也就是说在硅片上掺杂上别的材料,做出电阻来...
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