关于CD值随着半导体制造工艺的不断进步,CD在不断的缩小,从0.25um,0.18um,0.13um到90nm,65nm,45nm,32nm等.但是CD的尺寸不是任意值都可以的,经过计算只有特定的几个值才可以,如上列出部分.我想知道是

Question

关于CD值
随着半导体制造工艺的不断进步,CD在不断的缩小,从0.25um,0.18um,0.13um到90nm,65nm,45nm,32nm等.但是CD的尺寸不是任意值都可以的,经过计算只有特定的几个值才可以,如上列出部分.我想知道是怎么计算的,有影响的因素有哪些?

Answer 1

0.25um,0.18um,0.13um,90nm,65nm,45nm,32nm
等比数列,公比根号下(2).
因为长度比为根号下(2),则面积比为2,
光的能量比为2.
以上值不是必须的,
就像白炽灯泡瓦数100,60,40,25,15.
比为0.618,但是这都不是必须的.造出80瓦的灯泡也能用的.