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LED外延片生长需要用到哪些设备和原料、工艺流程是什么?目前我了解到的是MOCVD、尾气处理器、MO源，请补充
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LED外延片生长需要用到哪些设备和原料、工艺流程是什么?目前我了解到的是MOCVD、尾气处理器、MO源，请补充
▼优质解答
答案和解析
问题是LED外延片生长是吧，那就仅仅是GaN基的LED的生长。 用到的设备主要是MOCVD设备。当然还有一些辅助设备，比如尾气处理系统、超净间及排风系统、水冷系统、气站和供气系统等。 使用的原料和耗材我原来回答过，如...
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