人们常把集成电路称为微电子器件，这个“微”字不只是微小的意思，在物理学中，微电子器件是指芯片中线宽在lμm左右，目前，世界上最先进的线宽已降到0.13μm，合
人们常把集成电路称为微电子器件，这个“微”字不只是微小的意思，在物理学中，微电子器件是指芯片中线宽在 lμm 左右，目前，世界上最先进的线宽已降到 0.13μm ，合 m ，它标志信息技术将从微电子时代发展到纳米电子时代。
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