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电容请问90n工艺,MIM电容为什么不能做在两层厚金属之间啊?而一定要做在Mx和Mn之间?
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电容
请问90n工艺,MIM电容为什么不能做在两层厚金属之间啊?而一定要做在Mx和Mn之间?
请问90n工艺,MIM电容为什么不能做在两层厚金属之间啊?而一定要做在Mx和Mn之间?
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答案和解析
MX和MN代表不同的cu design rule.Cu BEOL一般称为1X,2X,4X.MX和MN好像是TSMC的叫法 查看原帖>>
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