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英语翻译如题OKK会在铁框架的Stage上设置两个定位点,放置操作人员放错框架,有防呆设计.如果在工作盘上设置45゚对位标志,操作人员以Pad由cassette取芯片,再放wafer于工作盘后,wafer须靠手轻
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英语翻译
如题
OKK会在铁框架的Stage上设置两个定位点,放置操作人员放错框架,有防呆设计.
如果在工作盘上设置45゚对位标志,操作人员以Pad由cassette取芯片,再放wafer于工作盘后,wafer须靠手轻微调整到45゚标志.(因为芯片薄而脆,无法以机构来定位45゚,手动微调才可以避免损坏芯片,所以在工作盘上无法设置45゚的对位机构,只能标记条线或者点作为对位用).
如题
OKK会在铁框架的Stage上设置两个定位点,放置操作人员放错框架,有防呆设计.
如果在工作盘上设置45゚对位标志,操作人员以Pad由cassette取芯片,再放wafer于工作盘后,wafer须靠手轻微调整到45゚标志.(因为芯片薄而脆,无法以机构来定位45゚,手动微调才可以避免损坏芯片,所以在工作盘上无法设置45゚的对位机构,只能标记条线或者点作为对位用).
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答案和解析
OKK in iron frame on the Stage of setting two anchor point,the operator placed wrong framework,a fool proof design.If the working plate set 45 ゚ registration marks,the operator to Pad the casse...
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