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半导体材料性质表征主要手段有哪些,请写出四种以上,并分别简述其表征材料的何种性质?
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半导体材料性质表征主要手段有哪些,请写出四种以上,并分别简述其表征材料的何种性质?
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答案和解析
四探针技术——测量电阻率ρ=1/σ和载流子浓度.
三探针技术——测量击穿电压,并得到电阻率.
Hall效应技术——测量Hall系数R,并得到迁移率(μ=Rσ).
MOS电容-电压技术——测量MOS中的界面态和电荷等.
光电导衰退技术——测量少数载流子寿命.
三探针技术——测量击穿电压,并得到电阻率.
Hall效应技术——测量Hall系数R,并得到迁移率(μ=Rσ).
MOS电容-电压技术——测量MOS中的界面态和电荷等.
光电导衰退技术——测量少数载流子寿命.
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