多弧、TiN膜层（回答合理另有加分,分数我就不在提问是浪费了）1.多弧沉积氮化钛,颜色变化规律怎样的?目前我做的氮气65sccm,b值已经达到50了,但是氮气增加到85sccm时,b值还是维持在50左右.2.

Question

多弧、TiN膜层（回答合理另有加分,分数我就不在提问是浪费了）
1.多弧沉积氮化钛,颜色变化规律怎样的?
目前我做的氮气65sccm,b值已经达到50了,但是氮气增加到85sccm时,b值还是维持在50左右.
2.多弧沉积氮化钛有两种情况,一种是装饰镀需求颜色,一种是功能镀需求硬度.
装饰镀的时候,沉积温度选在230℃；工具镀的时候,沉积温度选在430℃.
两种情况沉积同样的时间,其余条件都相同.
两种情况下出来的结果是硬度上有明显的差别.
当时的样品已经没有了,连颜色的记录都没有了.
所以有做过这种对比的同行,能否给我这样的对比结果.
3.平面弧靶采用电磁场供磁,用变压器油冷却,再用水冷变压器油.
某次,水冷出问题了,导致油温过高,这是可以看到电磁场的电流逐渐变小.
有谁能给我分析一下电流和油温的关系吗?

Answer 1

1.多弧沉积TiN,对于氮气的使用我想没有什么规律,多弧由于离化率很高,所以需要通入大量的氮气,可能你通入500氮气的颜色和通入600氮气的颜色是一样的,多弧做TIN,只能做低档的颜色,因为怎么调都是那个颜色.这跟磁控溅射...