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生产高分子光阻剂的主要原料是什么
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生产高分子光阻剂的主要原料是什么
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要看哪种光阻
一般就酚醛树脂、溶剂PGMEA、感光剂DNQ
有硅烷、亚克力==
一般就酚醛树脂、溶剂PGMEA、感光剂DNQ
有硅烷、亚克力==
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