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什么是化学输运反应
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什么是化学输运反应
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在化学气相沉积中,把所需要沉积的物质作为源物质,使之与适当的气体介质发生反应并形成一种气态化合物.这种气态化合物经化学迁移或物理载带而输运到与源区温度不同的沉积区,再发生逆向反应生成源物质而沉积出来.这种反应称为化学输运反应.
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