什么是粗真空、中真空及高真空?每一个的压力范围

Question

什么是粗真空、中真空及高真空?每一个的压力范围

Answer 1

我国关于真空区域的划分,《真空技术名词术语（GB3163—1982）》中规定如下：粗真空、低真空和高真空是依气体分子平均自由程与容器特征尺寸d相比的值来划分的.主要考虑：是气体分子之间的相互碰撞还是气体分子与器壁的相互碰撞对所出现的物理现象起决定性作用.将高真空和超高真空的界限定为10 -6 Pa,主要是考虑真空物理吸附机制只有在压力p < 10 -6 Pa时才开始明显,才可由扩散泵抽气获得,由B -A计进行压力测量.至于超高与极高真空的划分界限在10 -12 Pa,是因为p < 10 -12 Pa时,出现统计涨落（大于5 × 10 -2 ）.上述的真空区域划分,各区域均表示一个压力范围,原因是目前仍以压力表示度.但是,在低真空、高真空、超高真空和极高真空中,所说的压力是有着本质差别的,只是其他量的相对指示.各个区域的真空物理特性、所用的真空泵和真空计详见表1.国外关于真空区域划分也不一致,随着真空技术的发展,真空区域划分亦有变化.