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集成电路制造中栅氧、场氧的作用分别是什么?为什么有些时候要长场氧,再长栅氧?
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集成电路制造中栅氧、场氧的作用分别是什么?为什么有些时候要长场氧,再长栅氧?
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答案和解析
场氧是为了实现隔离,也就是防止出现寄生管,而栅氧是为了实现电流通路,进行场控的介质!
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