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INCA能谱仪有哪三种成分分析扫描模式?

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INCA能谱仪有哪三种成分分析扫描模式?
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答案和解析
能谱仪的三种扫描方式为:点 线 面
即可以扫描一个点 沿一条线 照射一个面 来分析这三种区域的元素组成表面形态