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共找到 1 与高纯超净特种气体主要用于制造半导体器件 相关的结果，耗时9 ms
（2009•泰州模拟）
高纯超净特种气体主要用于制造半导体器件
、化合物半导体、激光器、光导纤维、太阳能电池等．超纯硅化氢制备方法如下：（已知：常温下SiH4难溶于水，与稀硫酸不反
化学
4+2MgCl2+4NH3方
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