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感光高分子材料是制作大规模集成电路不可缺少的材料
,感光高分子在曝光时会发生二聚反应,生成不溶性的交联高分子硬化膜,未感光部分可用溶剂或其它药品洗去.常用的感光高分子有
化学
可水解为二种分子,一种不含苯
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