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晶体硅是一种重要的非金属材料,制备高纯硅的主要流程如图所示:已知SiHCl3能与H2O强烈反应,生成一种可燃烧的单质气体和两种酸.请回答下列问题:(1)
写出制备粗硅的化学方
化学
____.(3)整个制备过程
制备硅半导体材料必须先得到高纯硅。三氯甲硅烷(SiHCl3)还原法是当前制备高纯硅的主要方法,生产过程示意图如下:(1)写出由石英砂制取粗硅的化学方程式
化学
纯SiHCl3制备高纯硅的化
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