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共找到 2 与①写出由纯SiHCl3制备高纯硅的化学方程式 相关的结果，耗时9 ms
制备硅半导体材料必须先得到高纯硅。三氯甲硅烷(SiHCl3)还原法是当前制备高纯硅的主要方法，生产过程示意图如下：（1）写出由石英砂制取粗硅的化学方程式
化学
纯SiHCl3制备高纯硅的化
请回答下列问题：（1）制备硅半导体材料必须先得到高纯硅．三氯甲硅烷（SiHCl3）还原法是当前制备高纯硅的主要方法，生产过程示意图如下：
①写出由纯SiHCl3制备高纯硅的化学方程式
：SiH
化学
i+3HCl．②整个制备过程
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